Gitterfehlanpassung
Zwei Kristallgitter mit unterschiedlicher Gitterkonstante.
Das Material mit der größeren Gitterkonstante wird epitaktisch auf das mit
der kleineren Gitterkonstante (Substrat) aufgebracht. (Schichtdicke < 400 nm)
z.B. GaAs0.95P0.05 auf GaAs0.7P0.3
Überströmen von metallorganischen
Verbindungen über ein erhitztes